연구개발
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특허 및 인증내역
특허명
국가명
출원일 / 등록일
특허번호
웨이퍼 연마장치
한국
2013.03.14
2014.05.30
제10-1404678호
웨이퍼의 연마방법
한국
2004.05.19
2006.01.09
제0543569호
버츄얼 질화갈륨계
에피기판의 제조방법 및 수직전도형소자
한국
2006.09.14
2007.10.25
제10-0772021호
질화물계 화합물 반도체용 기판 구조체 및 그 제조방법
한국
2006.09.22
2008.01.03
제10-0793443호